高純液質聯(lián)用氮氣發(fā)生器包括氮氣緩沖系統(tǒng)、氮氧分離系統(tǒng)、空氣儲罐系統(tǒng)等。在這些系統(tǒng)中，氮氧分離系統(tǒng)是制氮設備的主要部件，由兩個交替工作的吸附塔和氣動閥、節(jié)流閥、消音器等組成。根據(jù)碳分子篩對空氣中主要成分氧氣和氮氣的吸附速率不同，在液質聯(lián)用專用氮氣發(fā)生器加壓吸附和降壓脫附過程中實現(xiàn)氮氧分離，而加壓吸附與降壓脫附過程由可編程控制器按一定程序控制電磁閥，并由電磁閥控制相應的氣動閥自動運行。

　　氮氣緩沖系統(tǒng)：其主要作用在于均衡從氮氧分離系統(tǒng)分離出來的氮氣的壓力和純度，保證連續(xù)供給氮氣。同時，在吸附塔進行生到吸附切換時，它將存儲的部分合格氮氣回充吸附塔保護床層，另外也有幫助吸附塔升壓的作用。該系統(tǒng)由流量計、緩沖罐、粉塵過濾器、節(jié)流閥、調壓閥、防護閥等組成。